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簡要描述:機(jī)床校準(zhǔn)設(shè)備激光器的出現(xiàn),使古老的干涉技術(shù)得到迅速發(fā)展,激光具有亮度高、方向性好、單色性及相干性好等特點,激光干涉測量技術(shù)已經(jīng)比較成熟。激光干涉測量系統(tǒng)應(yīng)用非常廣泛:精密長度、角度的測量如線紋尺、光柵、量塊、精密絲杠的檢測;精密儀器中的定位檢測系統(tǒng)如精密機(jī)械的控制、校正;大規(guī)模集成電路設(shè)備和檢測儀器中的定位檢測系統(tǒng);微小尺寸的測量等。
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機(jī)床校準(zhǔn)設(shè)備
激光器的出現(xiàn),使古老的干涉技術(shù)得到迅速發(fā)展,激光具有亮度高、方向性好、單色性及相干性好等特點,激光干涉測量技術(shù)已經(jīng)比較成熟。激光干涉測量系統(tǒng)應(yīng)用非常廣泛:精密長度、角度的測量如線紋尺、光柵、量塊、精密絲杠的檢測;精密儀器中的定位檢測系統(tǒng)如精密機(jī)械的控制、校正;大規(guī)模集成電路設(shè)備和檢測儀器中的定位檢測系統(tǒng);微小尺寸的測量等。
在大多數(shù)激光干涉測長系統(tǒng)中,都采用了邁克爾遜干涉儀或類似的光路結(jié)構(gòu)。
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